Ebenheit: bis λ/10 (je nach Abmessung, Verhältnis Ø/größte Kantenlänge zur Dicke ≤ 6 wählen), bis 250 mm Ø/Kantenlänge messbar, bis 150 mm dokumentierbar
Parallelität: bis 1” je nach Abmessung
Wellenfrontdeformation: bis λ/10 je nach Abmessung
Dicke: bis ± 0,005 mm
Höhere Genauigkeiten auf Anfrage.
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Vereinigte Staaten von Amerika